電感耦合等離子體是通過高頻率的感應電流產生作用，會產生類似于火焰一樣的激發光源，可以做多種檢測工作。在工作的過程當中需要應用感應的線圈，還需要應用高頻率發生器還需要應用工作氣體，這幾個部分是工作過程當中的重點，當電離的度大于0.1%的時候，這些氣體都會被稱之為等離子體，其實也叫做電子合理的濃度。當這個濃度處于平衡狀態的時候，就會產生這些離子體，在檢測工作當中，這是非常重要的一部分內容。
需要檢測的物體，可以進行溶液稀釋，變成溶液之后就會噴成噴霧狀，隨著工作氣體進入到儀器設備的內管當中，然后會超過等離子的核心區域，之后就會發出具有特征的譜線。各種的元素都有自己特定的光譜，可以用來進行多種物質的分析，比如說能夠進行多種元素的同時分析工作，比如說對于一些金屬的元素進行分析，對于藥物元素進行分析。
ICP-OES在工作過程當中表現非常不錯，檢測效果很好。
電感耦合等離子體在現代的科學當中應用量很高，能夠非常準確地進行多種元素的定量分析和定性分析，而且沒有必要去制備樣品，可以快速完成測定，在地質學方面材料學方面經常應用在實驗室當中，還可以做半導體方面的檢測應用，效果很穩定，具備良好的穩健特點，而且成本也沒有那么高，具備很強的經濟效益。
在檢測醫學方面，ICP-OES也起到了重要的作用，為檢測工作提供了全面的幫助。做檢測不用再依賴那些比較傳統的設備，而是應用高品質的設備，這些設備具備智能化的特點，比如說可以連續進樣，還可以進行高頻率的檢測，穩健性和靈敏性都比傳統的檢測工具更好。
